fa تهیه و ارزیابی لایه های نازک نیترید کروم در سیستم کند و پاش مغناطیسی با هدف جایگزینی کروم سخت سراميک‌هاي زیستی (بیوسرامیک‌ها) Bioceramics پژوهشي Research <div style="text-align: justify;"><span style="font-size:12px;"><span style="font-family:Tahoma;">به منظور بررسی امکانپذیری جایگزینی پوششهای جدید با کروم سخت، لایه های نازک نیترید کروم در سیستم کند و پاش تهیه شدند. نتایج بدست آمده نشان داد که ریز ساختار پوششها به شدت به فشار نسبی گاز واکنشی وابسته است. با افزایش فشار نسبی گاز واکنشی ( N2)P در سیستم، در ابتدا فاز نیترید شکل می گیرد ولی با افزایش بیشتر گازهای واکنشی، پوششها نظم کریستالی خود را از دست داده و حالت آمورف پیدا می کنند. تغییر نسبت N2/Ar باعث کاهش اندازه ی دانه ی پوششها شد در حالیکه تاثیر چندانی بر ثابت شبکه ی پوششها نداشت. سختی پلاستیک نمونه ها با افزایشنسبی گاز واکنشی افزایش یافت که در ارتباط مستقیم با اندازه دانه ی پوششها و رابطه ی هال-پچ بود. این رابطه در نمونه ی دارای بیشترین مقدار نیتروژن صادق نبود که با اندازه ی دانه ی بیش از حد کوچک آن و افزایش عیب مرزدانه ای نسبت داده شد. نتایج بررسی مقاومت اکسایش پوشش CrN با بالاترین مقدار سختی نشان داد که این پوشش در دمای 600oC بطور کامل اکسید و در دمای 800oC بطور کامل از سطح جدا می شود. به نظر می رسد که با کنترل شرایط لایه نشانی دستیابی به پوششهای CrN با خواص مکانیکی بهتر از کروم سخت امکانپذیر است و این پوشش می تواند از نظر خواص مکانیکی جایگزین مناسبی برای کروم سخت باشد ولی از نظر مقاومت اکسایش این پوشش جایگزین مناسبی برای کروم سخت نیست.</span></span></div> In order to studypossibility of substitution of hard chromium coatings with new coatings,chromium nitride thin films prepared in a sputtering system. Results showed that microstructure of coatings strongly depends on partial pressure of reactive gas. With increasing partial pressure of reactive gas in system at first nitride phase forms when coatings lose their crystalline order and become amorphous with increasing partial pressure of reactive gas. Change of N2/Ar ratio leads to a decrease of grain size but does not affect the lattice parameter so much. Plastic hardness of samples increased with increasing partial pressure of reactive gas which can be attributed to the grain size of the samples and Hall-Pech relation. This relation did not work for the sample with the highest nitrogen which was attributed to its very fine grain and increased grain boundary defects. Study of oxidation resistance of CrN film with the highest hardness value showed that this coatings completely oxides at 600 oC and completely separates from the substrate at 800oC. It seems that it is possible to get CrN films with better mechanical properties than that of hard chromium with precise control of deposition conditions and this coating can replace hard chromium from the view point of mechanical properties. However, this coating cannot replace hard chromium from the view point of oxidation resistance. نیترید کروم, کروم سخت, لایه نازک, خواص مکانیکی, مقاومت اکسایش chromium nitride, hard chromium, thin film, mechanical properties, oxidation resistance 0 0 http://ijcse.ir/browse.php?a_code=A-10-206-4&slc_lang=fa&sid=1 سارا خمسه 10031947532846003342 10031947532846003342 Yes حسام الدین عراقی 10031947532846003343 10031947532846003343 No